硅基光电子学浏览次数：1381次  最近更新：2019-06-28 12:16:34

简介

晶体管这个被誉为20世纪最伟大的发明改变了世界，而以硅材料为基础的微电子器件则以其低功耗、低成本、易集成等优点迅速占领了绝大部分电子市场，并成为当时高科技产业的重要支柱。从晶体管的发明、集成电路的出现、计算机的不断更新换代、再到通信网络的飞速发展，人类生活的各个层面无不打下了微电子的烙印：微电子产品已经被用到人们物资生活的各个层面；微电子的设计思想和制作方法也已经渗入到不同学科及社会领域。

然而，微电子器件的进一步小型化使得集成电路的互连延迟效应及能耗问题成了以电子作为信息载体的高速集成电路技术的一个不可逾越的障碍。与电子相比，光子作为信息载体具有巨大的优势：光子没有静止质量，光子之间也几乎没有干扰，光的不同波长可用于多路同时通讯，因此，利用光子的信息技术具有更大的带宽和更高的速率。

所谓硅基光电子学 ，就是研究和开发以光子和电子为信息载体的硅基大规模集成技术。其核心内容就是研究如何将光子器件"小型化"、“硅片化”并与纳米电子器件相集成，即利用硅或与硅兼容的其他材料，应用硅工艺，在同一硅衬底上同时制作若干微纳量级，以光子和/或电子为载体的信息功能器件，形成一个完整的具有综合功能的新型大规模集成芯片。

硅基光电子学研究的具体内容包括: 硅中光子与电子的相互作用, 硅基光波导，硅基无源器件，硅基光源，硅基光学调制，硅基光电探测器，硅基表面等离子激元器件，硅基光电子器件工艺与系统集成，硅基光电子学的应用等。